量子ホール効果測定用の半導体デバイス化装置の一覧です。 現在、東北大学学際科学国際高等研究センターのクリーンルーム内にあります。
東北大学学際科学国際高等研究センター
マスク・アライナー
スピン・コーター
ワイヤー・ボンダー
スクライバー
蒸着装置
アニール炉
段差計
電子線描画装置