量子ホール効果測定用の半導体デバイス化装置の一覧です。
現在、東北大学学際科学国際高等研究センターのクリーンルーム内にあります。

 東北大学学際科学国際高等研究センター

 マスク・アライナー

 スピン・コーター

 ワイヤー・ボンダー

 スクライバー

 蒸着装置

 アニール炉

 段差計

 電子線描画装置