基板結晶について

最近では色々な種類の酸化物基板が開発されており比較的容易に入手できます。図は市販されている単結晶基板の格子定数を示したものです。なお、一部の斜方晶の結晶では正方晶のペロブスカイトと比較しやすい様に換算した値にしてあります。一方、従来あまり薄膜化されていない物質の薄膜作製を行う場合には自ら基板結晶の開発をする必要があります。例えば、梯子型銅酸化物（(Sr,Ca)14Cu24O41、SrCu2O3など）の薄膜作製にあたっては、フローティングゾーン法によりSr14Cu24O41の単結晶を作製し、これをカット、研磨して基板として使用しました。
酸化物単結晶基板の格子定数。